SiC外延制程助理工程师

1、产线制程跟进：协助资深工程师负责SiC碳化硅外延MOCVD量产制程落地，全程跟进外延生长生产流程，监控温度、腔体压力、气体流量等核心工艺参数，严格核对生产操作，确保制程完全符合工艺标准与SOP规范，保障产线稳定量产。 2、工艺数据管控：负责日常生产制程数据的收集、整理、统计与录入，完成SPC制程管控、良率数据复盘，精准记录批次生产信息、工艺参数及产品检测结果，定期输出制程日报、周报，为工艺优化、良率提升提供数据支撑。 3、现场异常处理：快速响应产线制程异常、产品良率波动、外延层缺陷、厚度/均匀性偏差等问题，协助开展异常排查、原因分析、临时对策落地，跟进问题闭环，同步更新异常处理记录，降低不良品率与产线停机损耗。 4、工艺文件管理：协助编制、修订、完善SiC外延工艺作业指导书、制程规范、工艺流程单、变更记录等技术文件，完成文件归档、更新与版本管控，确保产线操作标准化、规范化。 5、工艺优化与验证：配合工程师开展现有量产工艺窗口优化、新工艺参数验证、新材料/新批次衬底适配测试，跟进实验全过程，整理测试数据、撰写验证报告，助力提升产能、提升良率、降低生产成本。 6、设备与制程维护：配合设备团队完成MOCVD外延设备日常点检、预防性PM保养、腔体清洁、气路/真空系统巡检，协助排查设备工艺相关故障，保障设备与制程稳定性，配合完成产线扩产、产能释放相关制程适配工作。 7、品质与合规管控：配合品质部门完成制程稽核、产品抽检、不良品分析，落实制程变更管控要求，严格遵守无尘车间管理规范、安全生产及车间各项管理制度。

1、学历专业：本科及以上学历，材料科学与工程、半导体物理、化学工程等相关理工科专业，优秀应届生可培养。 2、具备半导体Fab产线实习、工作经验者优先。 3、熟练使用Office办公软件，可独立完成数据统计、报表撰写；具备基础的数据分析能力，能够看懂工艺参数、SPC数据，善于复盘总结制程问题。 4、工作严谨细致、责任心强，具备良好的学习能力、执行力和团队协作能力；服从产线排班，能够适应无尘车间工作环境，接受倒班制度。