薄膜设备工程师

负责 12 寸 PVD/CVD/ALD 薄膜机台日常设备维护、故障抢修，保障设备稼动率与产能稳定。 执行腔体定期 PM 保养，拆装腔体、更换靶材、内衬、气体管路、射频电源、传输机构等配件。 设备异常根因排查，解决真空泄漏、靶材打火、传输卡片、RF 异常、颗粒超标等硬件故障，输出改善方案。 新机台 / 新腔体进厂安装、调试、验收，配合工艺工程师完成腔体匹配、性能验证。 管理设备备件、耗材库存，梳理备件更换周期，推进备件国产化降本。 编写设备 SOP、保养规范、异常报告，培训现场技术员，对接设备原厂厂商技术支持 配合工艺团队完成设备改造、硬件优化，改善颗粒、均匀性等设备相关工艺问题。 任职要求 本科及以上，机械、自动化、微电子、材料等相关专业，有 12 寸晶圆厂薄膜设备实操经验。 熟悉 AMAT、TEL、ULVAC 等主流薄膜沉积设备结构、真空、气路、射频、机械手传输系统。 具备独立拆机保养、故障维修能力，了解真空、等离子基础原理。 掌握 5S、TPM 设备管理体系，能独立撰写维修、保养、异常分析报告。 能配合产线需求轮班、夜班支援，动手能力强，具备良好沟通与问题处理能力。