过程质检技术员

1. 全工序巡回巡检（光刻 / 薄膜 / 刻蚀 / 离子注入 / 退火 / 清洗 / 探针） 1）定时按 SIP 巡检各道晶圆制程，核查设备工艺参数、机台程序版本、腔体状态、温湿度、颗粒监控数据； 2）监督作业员严格执行 SOP 规范，纠正违规操作、ESD 静电防护不到位、化学品使用不规范等问题； 3）检查产线 6S、晶圆盒洁净度、批次标识、追溯条码、化学品有效期、机台点检记录完整性。 2. 首件 / 换型 / 换料 / 设备维修后首检放行 1）产线开班、更换晶圆批次、更换靶材 / 光刻胶、机台保养维修、工艺 ECN 变更后，执行首片晶圆全项检验； 2）显微镜检查晶圆表面颗粒、划伤、膜厚均匀性、图形偏移、缺陷点；核对电性监控片数据，首件合格签字后方可量产； 3）新物料、替代物料导入配合做小批量跟踪巡检，记录制程波动。 3. 制程不良识别、隔离与异常闭环 1）巡检中发现晶圆缺陷、工艺漂移、批量不良、颗粒突增，第一时间通知生产领班、当班 PQE，下达停线围堵； 2）对不良晶圆分区红色隔离、贴不良标签、录入 MES 系统，统计缺陷类型、不良数量； 3）跟进产线、工艺整改验证，复查改善效果，确认无复发后解除管控，完整填写异常单； 4）参与产线 MRB 评审，协助判定晶圆返工、特采、报废方案。 4. 质量数据记录、报表与 SPC 监控 1）按时填写巡检记录表、首件记录、缺陷统计台账，MES 系统实时录入批次检验数据； 2）收集各工序良率、缺陷 PPM、膜厚偏移数据，协助 PQE 做 SPC 制程波动监控； 3）每日输出当班巡检异常报表，汇总高频缺陷反馈质量工程师推动改善。 5. 检验设备与现场体系维护 1）巡检配套金相显微镜、膜厚仪、颗粒检测仪、卡尺每日点检、清洁、保管，配合计量定期校准； 2）管控产线检验样板、限度样板，定期核对更新； 3）配合 ISO9001 内审、客户稽核，整理巡检相关质量记录； 4）完成上级安排良率提升专项跟踪、制程稽核、新品试产巡检等工作。